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微電子行業(yè)的密封解決方案

在微電子行業(yè),密封材料面臨嚴苛挑戰(zhàn)。它們要從容應對等離子、氣體、高溫、酸堿等不同腐蝕,保持“纖塵不染”的高貴品質(zhì),滿足行業(yè)對密封材料的高潔凈度要求。否則,密封材料容易出現(xiàn)腐蝕、溶脹、老化等問題,導致密封失效。

派克漢尼汾旗下的FFKM(全氟橡膠)無懼嚴苛工況,它們擁有低顆粒物析出、高潔凈度、耐化學介質(zhì)及耐電離輻射等高品質(zhì)性能,耐受溫度可高達320℃,F(xiàn)FKM由優(yōu)質(zhì)的氟碳化合物組成,其中超高潔凈的FFKM在單獨的制造單元生產(chǎn),保護材料不受塵埃、模具涂料等污染,為材料潔凈度保駕護航。

微電子行業(yè)的密封解決方案

針對微電子行業(yè)的具體應用工況,派克漢尼汾旗下不同系列的FFKM各有所長,下面,我們就來解鎖其中兩款FFKM,看看它們所擁有的神奇密封術吧!


[ 關鍵詞 ] 耐壓變    

雖然FFKM耐高溫和耐化學腐蝕能力非常優(yōu)秀,但耐壓變性能卻相對較差。如果密封件的回彈能力減弱發(fā)生形變,其橡膠特性就會受到嚴重影響,進而導致泄漏。針對這一行業(yè)難題,派克漢尼汾推出ULTRA FF156

微電子行業(yè)的密封解決方案

在實驗室,我們將相同硬度的FF156和其他類似耐化學腐蝕的FFKM產(chǎn)品進行耐壓變性能對比測試。

數(shù)據(jù)顯示,F(xiàn)F156在耐壓變性能方面優(yōu)于其他兩種材料,使用壽命更長。

微電子行業(yè)的密封解決方案


[ 關鍵詞 ]顆粒物析出,抗腐蝕能力

在使用NF3和O2等離子體進行清潔,沉積SiH4的化學氣相沉積(HDP-CVD)工藝中,一家制造商使用行業(yè)領先的密封件,還是發(fā)生了腐蝕。如下圖所示,材料I和II發(fā)生嚴重降解,約20%的密封材質(zhì)受到侵蝕;而在相同的使用時間內(nèi),F(xiàn)F302 O形圈沒有受到侵蝕。

微電子行業(yè)的密封解決方案


事實上,F(xiàn)F302-75的實驗表明,它能夠耐受具有強腐蝕性的蝕刻和清潔化學成分。因此,越來越多的半導體行業(yè)客戶開始采用FF302,以降低成本。

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