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該閥10mm 寬，產(chǎn)品尺寸小、設(shè)計(jì)緊湊，重量輕；可以真空, 正壓兩用；無油潤滑、發(fā)塵量少，泄漏量少，符合半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室環(huán)境要求。

- 響應(yīng)速度快且工作穩(wěn)定，最快可達(dá)1.5ms

- 使用壽命長，超過5億次

- 大流量