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PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案

在微電子行業(yè)中,為了精準控制各類制造、檢測類設(shè)備的溫度,液冷技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。例如,在半導(dǎo)體晶圓制造過程中,晶圓夾具必須配備液冷系統(tǒng),用以帶走由高能離子轟擊時產(chǎn)生的熱量,并控制晶圓溫度。否則,晶圓就有可能因溫度太高而造成光刻膠的網(wǎng)狀組織化。

PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案

由此可見,液冷系統(tǒng)不僅關(guān)乎設(shè)備的安全運行和使用壽命,還關(guān)乎最終產(chǎn)品的良率與性能。在整個液冷系統(tǒng)的組件中,選用合適的管路及接頭非常關(guān)鍵。作為流體傳動行業(yè)“無泄漏”的先行者,派克漢尼汾可為微電子行業(yè)的液冷系統(tǒng)提供多種高品質(zhì)流體連接解決方案,滿足不同設(shè)備的冷卻需求。

NSS 快換接頭

采用平齊端面閥芯,斷開無溢流;大流量通流能力,提供優(yōu)異的流量-壓降特性,冷卻性能穩(wěn)定、能耗低;采用對齊導(dǎo)向即插連接和套筒反推斷開設(shè)計,操作方便、不會意外斷開;不銹鋼材質(zhì),多種密封材質(zhì)和油口選項可選。

PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案

O-LOK不銹鋼接頭

采用端面 O 形圈軟密封,該密封圈嵌在派克特有的O形圈鍥形槽內(nèi),密封性能更加穩(wěn)定可靠。這不僅進一步提升裝配安全性,還能更好實現(xiàn)無泄漏連接,優(yōu)化安裝和維護成本。由于連接及密封性能高度可靠,它能進一步減少微電子行業(yè)冷卻系統(tǒng)管路的重復(fù)安裝,降低維護成本。

PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案

PTFE軟管

PTFE系列軟管中的979BXT、929BJ、919BNCW/NCB 軟管可用于液冷管路,采用PTFE芯管,是因為其具有良好的介質(zhì)兼容性;靈活性好;抗扭結(jié)和耐真空;無RFI問題。

PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案

801軟管

PARKER801軟管是針對冷卻應(yīng)用而設(shè)計研發(fā)的多用途軟管產(chǎn)品,可與多種水基冷卻介質(zhì)兼容;與旗下的82系列Push-Lok接頭匹配,無需扣壓和抱箍、易于安裝,節(jié)省安裝時間和成本;6種顏色可選,便于識別;801軟管采用本地化生產(chǎn),交期快,供應(yīng)安全。

PARKER: 微電子行業(yè)液冷管路解決方案


目前,派克漢尼汾旗下的高品質(zhì)流體連接解決方案已在微電子行業(yè)得到成功應(yīng)用,性能表現(xiàn)深受客戶認可。

01

國內(nèi)某半導(dǎo)體薄膜設(shè)備廠商為其潔凈室的去離子水冷卻系統(tǒng)選用NSS快換接頭,與位于室外的循環(huán)過濾系統(tǒng)建立快速連接。

在這個應(yīng)用中,由于冷卻系統(tǒng)位于潔凈室,快換接頭在實現(xiàn)快速連接的同時,還要符合潔凈室生產(chǎn)要求。NSS快換接頭材質(zhì)與去離子水兼容,耐腐蝕。

接頭斷開時端面基本無介質(zhì)殘留,可減少污染物產(chǎn)生,符合潔凈室生產(chǎn)要求;

連接夾氣量少,能降低冷卻系統(tǒng)的氣泡;

插拔便捷,作業(yè)效率高。

此外,還可進一步優(yōu)化冷卻管路壓降,提升系統(tǒng)能效。


02

在與另一家國際知名的半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商的合作中,派克漢尼汾攜手國內(nèi)分銷伙伴,為該行業(yè)客戶用于信號發(fā)射和芯片傳輸檢測設(shè)備的水冷系統(tǒng)提供管路系統(tǒng)解決方案。

憑借更為可靠的密封性能,O-LOK不銹鋼接頭為該系統(tǒng)提供無泄漏連接。同時,在分銷伙伴的大力支持下,產(chǎn)品交期準時有保障,滿足客戶貨期要求,解除客戶后顧之憂。

此外,派克漢尼汾還可提供Legris 接頭和氣管、Rectus不銹鋼快換接頭和PS系列旋轉(zhuǎn)接頭等產(chǎn)品供客戶選擇。


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